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簡介：

真空等離子噴涂設備

真空系統(tǒng)是專為生產(chǎn)高性能工業(yè)涂層而設計的噴涂系統(tǒng)。這些涂層包括渦輪葉片、陸基燃氣輪機及航空發(fā)動機葉片等。 系統(tǒng)所使用的全部組件均能滿足工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境的要求，并適合多班工作制生產(chǎn)任務。 此真空等離子噴涂系統(tǒng)有以下部分組成：

 ● 等離子控制系統(tǒng)包括： 控制模塊 、氣體模塊 、 轉(zhuǎn)接箱模塊 、 等離子噴槍 、 雙筒送粉器 、 主電源

● 真空等離子系統(tǒng)包括： 主工作艙組件：含工藝操作艙、真空預過濾器、氣體冷卻器 、噴槍操作機械手：采用6軸工業(yè)機械手操作等離子噴槍，機械手安裝在可移動平臺上，以方便維護 、24工位工件夾持系統(tǒng)：單軸轉(zhuǎn)臺，由機械手控制，安裝在可移動平臺上，用于上下工件，便于裝卸及維護 、真空系統(tǒng) 兩級真空泵及真空管路匯流排（含過濾器、管道、閥等） ，冷卻系統(tǒng) 冷水技及冷卻水分配中心，及全部需冷卻組件的連接管路 、 過濾系統(tǒng)干式過濾系統(tǒng)用于真空艙真空艙的可人工清潔 、 控制系統(tǒng) 用于真空過程控制的真空控制系統(tǒng)

供應真空等離子噴涂設備在醫(yī)學界的應用

人工關節(jié)表面真空等離子噴涂Ti、HA涂層　

真空等離子設備噴涂

羥基磷灰石(Hydroxyapatite,HA)生物陶瓷材料具有優(yōu)良的生物活性和生物相容性,但HA燒結(jié)后強度較低,且脆性較大,難以滿足臨床使用要求。近年來,利用材料表面處理技術(shù)將HA生物陶瓷材料涂覆在鈦合金等金屬基體的表面,形成HA生物陶瓷涂層材料。HA生物陶瓷涂層可以充分發(fā)揮生物陶瓷材料和鈦合金材料各自的優(yōu)勢,克服各自的缺點,較好滿足臨床應用的需要

1.人工關節(jié)表面真空等離子弧噴涂Ti、HA涂層　　在Ti或其合金基材上沉積的等離子噴涂鈦(Ti)、羥基磷灰石(HA)涂層已在臨床上獲得應用。等離子弧噴涂是一個高溫過程，粉末在噴涂過程中會發(fā)生較為復雜的物理、化學變化。等離子弧噴涂HA涂層與其噴涂粉末相比，會發(fā)生結(jié)構(gòu)和組成的改變，并導致涂層結(jié)晶度的降低。在高于500℃的環(huán)境中，Ti很容易與O2、H2、N2以及CO2反應。由于等離子弧射流溫度極高(高達10000℃)，在大氣中進行等離子弧噴涂時，Ti會與周圍氣氛發(fā)生反應。噴涂過程中產(chǎn)生的反應產(chǎn)物往往會降低涂層的延展性，并導致材料產(chǎn)生裂紋

2.真空等離子弧噴涂與大氣等離子弧噴涂相比較，具有射流速度快、溫度較低、噴涂室氣氛可控等特點，所制備的涂層比較致密、含氧量低、成分與粉末較為接近。圖1為真空等離子噴涂設備。采用真空等離子噴涂技術(shù)可以制備性能優(yōu)良的Ti和HA涂層。

采用真空等離子噴涂技術(shù)可以制備性能優(yōu)良的Ti和HA涂層。

圖1真空等離子噴涂設備

3.在Ti-6Al-4V基體上采用真空和大氣等離子弧噴涂制備了Ti、HA涂層，并將二者進行比較后發(fā)現(xiàn)，大氣噴涂Ti涂層氧化比較嚴重，涂層中含有大量的TiO和TiO2。而在真空噴涂中，這種氧化得以避免。涂層的氧化影響了它與合金基體的結(jié)合，大氣噴涂(APS)Ti涂層與基體間的結(jié)合強度約為37MPa，而真空噴涂(VPS)Ti涂層的結(jié)合強度可達60MPa。與原始粉末相比，等離子噴涂HA涂層含有一些非晶相和新相，如CaO和Ca3(PO4)2.非晶相的形成主要是由于在高溫下熔化的顆粒被噴涂在基底上時激冷所致；而CaO和Ca3(PO4)2等新相則是源于噴涂過程中HA的分解。真空噴涂HA涂層的非晶相和新相明顯減少，這主要是得益于VPS噴涂時較低的焰流溫度結(jié)晶度測定結(jié)果顯示，APS HA涂層的結(jié)晶度僅為42％，而VPS HA涂層的結(jié)晶度則超過60％，可滿足臨床植入對涂層結(jié)晶度的要求。真空等離子噴涂Ti-HA涂層人工髖關節(jié)實際部件見圖2。已噴涂人工髖關節(jié)植入物約7000件。

圖2用真空等離子噴涂鈦 - 羥基磷灰石涂層人工髖關節(jié)

4.HA基復合涂層 .采用等離子弧噴涂技術(shù)，在Ti-6Al-4V合金基體上，制備了HA/Ti、HA/TiO2、HA/ZrO2，等復合涂層，能有效地改善涂層與基體之間的結(jié)合。

結(jié)合強度分析表明，在HA涂層中摻入金屬或陶瓷等成分，涂層的結(jié)合情況可以得到改善。以HA/ZrO2復合涂層為例，摻入ωZrO2 =60％的復合涂層的結(jié)合強度比純HA涂層高出約一倍。結(jié)合強度的提高，主要是因為摻雜物的加入緩和了涂層與基體之間的熱膨脹系數(shù)失配，減少了因熱膨脹系數(shù)失配導致的殘余熱應力在涂層與基體界面處的集中。另外，摻雜物小身的結(jié)合強度較高也是復合涂層結(jié)合強度提高的一個重要原因。